扫描电镜是使用最广泛的仪器之一
扫描电镜是使用最广泛的仪器之一。扫描电镜主要由冷却循环水系统,电子光学系统,真空系统,信号检测,处理和显示系统,图像记录系统,样品室和电源系统组成。
在扫描电子显微镜之前,应对样品进行相应的处理。扫描电子显微镜不仅可以检测二次电子图像,还可以检测反向散射电子,透射电子,特征X射线,阴极发光和其他信号图像。成像原理与二次电子图像相同。
扫描电子显微镜是使用最广泛的仪器之一。它可以进行以下基本分析:具有许多卓越性能的多功能仪器。
1.纳米材料的观察:具有很高的分辨率,当组分材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-μm的范围内时,可以观察在保持表面清洁的条件下通过压模获得的固体材料。 100纳米
2,材料断裂的分析:其景深,图像富有三维感,具有三维形状,可以从断裂形态上显示出材料断裂的本质,在材料断裂原因分析,事故原因分析中而过程合理性是一种有力的手段。
3,直接观察原始样品表面:可以直接观察直径为100 mm,高50 mm或较大尺寸的样品,样品没有任何限制,可以检测出粗糙表面的形状,它将消除了制备样品的必要性,并且可以真正观察样品本身具有不同对比度(反向散射电子)的材料成分。
4,观察厚样品:当观察厚样品时,可以获得高分辨率和最真实的形态。
5,观察样品每个区域的细节:样品在样品室中可以在非常大的范围内移动,可以在三个自由度内移动(三个空间平移,三个空间旋转),这带来了非常方便地观察每个区域中样品的不规则形状。
6,在大视野下,以低倍率观察样品,使用扫描电镜观察大视野下的样品:在大视野下,以低倍率观察样品的形态在某些领域是必要的,例如犯罪侦察和考古学。
7.从高倍率到低倍率的连续观察:扫描电子显微镜具有广泛的倍率范围(从50,000到200,000倍连续可调),并且可以在从高倍率到低倍率以及从低倍率到高倍率后连续观察。无需重新聚焦即可聚焦,这对于分析特别方便。
8.观察生物样品:由于样品在电子辐照表面上的损坏和污染程度很小,因此观察一些生物样品尤为重要。
9,动态观察:如果样品室配备有加热,冷却,弯曲,拉伸和离子蚀刻配件,则可以观察动态变化过程的相变,断裂强度等。
如图10所示,从样品表面形态获得各种数据:由于扫描电子图像不是同时记录的,因此根据这种组成将其分解为近一百万个连续记录。扫描电子显微镜(SEM)不仅可以分析表面形态,还可以分析成分和元素,还可以通过电子通道图案进行晶体学分析,选择尺寸范围为10μm至3μm。
现在,扫描电子显微镜(sem)已广泛用于材料科学,金属材料,非金属材料,纳米材料),冶金,生物学,医学,半导体材料和设备,地质勘探,植物病虫害的预防,灾难(火灾) ,故障分析)评估,犯罪侦查,宝石鉴定,产品鉴定和工业生产中的生产过程控制等。